光學鍍膜機成膜的控制系統介紹

光學鍍膜機成膜的控制系統介紹

　光學鍍膜機成膜控制系統：

　　薄膜監控目前應用方式比較多，主要有：目視監控法，定（極值）值監控、水晶振蕩監控、時間監控等等。本人主要介紹目視監控、定（極值）監控和水晶振蕩監控三種。

　　目視監控也叫直接監控，就是采用眼睛監控，因為薄膜在生長的過程中，由于干涉現象會有顏色變化，我們就是根據顏色變化來控制膜厚度的，此種方式有誤差，所以不是很準確，需要依靠經驗。

　　定值（極值）監控：主要是采用反射式（透過式）光學監控。極值監控法：當膜厚度增加的時候其反射率和穿透率會跟著起變化，當反射率或穿透率走到極值點的時候，就可以知道鍍膜之光學厚度ND是監控波長（入）的四分之一的整數倍。但是極值的方法誤差比較大，因為當反射率或者透過率在極值附近變化很慢，亦就是膜厚ND增加很多，R/T才有變化。反映比較靈敏的位置在八分之一波長處。

　　定值監控法：此方法利用停鍍點不在監控波長四分之一波位，然后由計算機計算在波長一時總膜厚之反射率（或者穿透率）是多少，此即為停止鍍膜點。

　　水晶振蕩監控：

　　水晶振蕩的工作原理是：利用石英晶體振動頻率與其質量成反比的原理工作的。但是石英監控有一個不好之處就是當膜厚增加到厚度后，振動頻率不全然由于石英本身的特性使厚度與頻率之間有線性關系，此時使用新的石英振蕩片。

　　幾種光學鍍膜機監控方法各有優劣，但通常鍍多層膜，會以光學監控為主，石英晶體振蕩的方法。

　　除此之外，對于有些在鍍膜過程中需要充入氣體的還有流量控制計或者壓力控制計，這些需要采用精密的閥門和光電傳感系統來控制。

　　在鍍膜過程中還需要回轉控制系統，就是將傘具的主軸置于軸承里面，然后再利用電機帶動軸承，使傘具回轉。然后再PLC控制其回轉速度。

　　坩堝回轉采用電機帶動，光電感應計數的方法，遮藥板采用氣動開關方式轉動。

　　為了加快抽氣速率，達到真空度，還需要對真空腔進行制冷，就是將真空腔里面的空氣冷凍到零下130攝氏度，將真空腔里面的水氣冷凍并被泵抽走。

　　電氣控制部分主要采用PLC自動控制，就是先在PLC中輸入預先設計好的程序，處理器主電路與操作面板上的各空駛系統相連接，當按下操作面板上的開關的時候，信息傳遞到中央處理器，再由中央控制系統分析并發出指令由支路執行并完成動作。

　　鍍膜機是集多門學科的設備，它集成了當今工業的機電，控制、電氣自動化、IT、制冷，微電路集成系統、高壓控制系統、機械、加工、光電、光學、氣動控制、光電傳感、通訊、真空、薄膜光學與鍍膜技術等等?？梢哉f鍍膜機是新興的產業代表。

　　到今天，光學鍍膜機已經被較多應用，其制作的薄膜被應用到各光電系統及光學儀器中，如望遠鏡、投影機、能量控制、光通訊、顯示技術、干涉儀、人造衛星飛彈、半導體激光、微機電系統、信息工業、激光的制作、濾光片、照明工業、傳感器、建筑玻璃、汽車工業、裝飾品、錢幣、眼鏡片等等，鍍膜機器已經與人的生活緊密聯系。